隨著AI、大數(shù)據(jù)等應(yīng)用的興起，業(yè)界對(duì)于存儲(chǔ)的要求越來越高。但在現(xiàn)在主流的存儲(chǔ)中，NAND的傳輸速度比較慢，而傳輸較快的DRAM則是易失性的，這就促使存儲(chǔ)供應(yīng)商研發(fā)下一代的存儲(chǔ)， ReRAM就是其中一個(gè)代表。

 

ReRAM被稱作可變電阻式內(nèi)存（Resistive random-access memory），是一種新型的非易失性內(nèi)存，具有消耗電力較低，且寫入信息速度比NAND閃存快1萬倍的特點(diǎn)。能夠被應(yīng)用到系統(tǒng)的主內(nèi)存（DRAM）和儲(chǔ)存器（NAND 閃存）之間，彌補(bǔ)這兩者之間越來越大的延遲差距；或者被應(yīng)用到神經(jīng)形態(tài)計(jì)算中，實(shí)現(xiàn)人工智能和機(jī)器學(xué)習(xí)。前段時(shí)間惠普推出的新型計(jì)算機(jī)“The Machine”就應(yīng)用了這項(xiàng)存儲(chǔ)技術(shù)。除此之外，包括4DS、Adesto、Crossbar、松下、美光、三星、索尼等公司也在開發(fā) ReRAM技術(shù)。

 

但是，ReRAM是一項(xiàng)很難掌握的技術(shù)：

 

對(duì)晶圓廠的生產(chǎn)來說，它是一種相對(duì)簡單直接的工藝。ReRAM 和 STT-MRAM 都只需要少量幾個(gè)掩模步驟而且可在晶圓廠中所謂的生產(chǎn)線后道工序（BEOL）制造生成。而且 STT-MRAM 和 ReRAM 都構(gòu)建在芯片的金屬層的觸點(diǎn)或通孔之上。

 

除制造以外，測(cè)試也是一個(gè)巨大的困難。如我們需要解決其中的缺陷測(cè)試問題。

在正常條件下，ReRAM能夠在HRS和LRS兩種狀態(tài)建切換，這時(shí)候CFR能夠被觀察到，然后就能根據(jù)觀察狀態(tài)找到問題所在。為達(dá)到這些目的，就需要針對(duì)可靠性評(píng)估開發(fā)出新的表征技術(shù)。自動(dòng)化程度極高的Keithley 4200就能完美解決這些問題。

 

不止ReRAM，標(biāo)準(zhǔn)邏輯產(chǎn)品也是Keithley 4200的優(yōu)勢(shì)所在。

 

大家知道，摩爾定律的發(fā)展推動(dòng)著邏輯產(chǎn)品向微縮發(fā)展。新制程、材料、架構(gòu)甚至新產(chǎn)品概念的引入，都會(huì)給產(chǎn)品的可靠性帶來挑戰(zhàn)，進(jìn)而給測(cè)試設(shè)備帶來了更多挑戰(zhàn)。例如越來越薄的氧化層，就要求更快的測(cè)試速度；如何區(qū)分和明白不同類型的缺陷，對(duì)他們來說就顯得尤其重要。

 

本文關(guān)鍵詞：ReRAM

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